外延片
直径2~8英寸 在单晶衬底上生长一层同质或异质的薄膜层。 外延生长的新单晶层可在导电类型、电阻率等方面与衬底不同,还可以生长不同厚度和不同要求的多层单晶。 该类硅片需要用户提供详细指标进行定制。
SOI硅片
直径4~8英寸 可提供Bonding工艺SOI和Smart cut.工艺SOI 器件层厚度最薄可到150nm,埋氧层厚度可到最薄1um 可根据用户所需器件层、埋氧层、体硅各层材料的参数定制,以及多层SOI的定制
其他特殊硅片及耗材
超厚硅片,超薄片,厚度可到10um,金属化硅片(镀金,镀铝,镀铜等),超平硅片,特殊晶向硅片,穿孔硅片,绒化硅片,晶棒(国产/进口),金属靶材,金属颗粒,金属片,纳米颗粒,键合金属丝
单面/双面镀金硅片
膜层参数:Cr30nm/Au100nm(可定制) 衬底类型:硅片/玻璃片/石英片/蓝宝石片 衬底规格:2/4/6/8/12寸(尺寸规格厚度可定制) 膜层粗糙度:Ra≤1nm 膜层纯度:≥99.999% 镀膜工艺:电子束蒸发/磁控溅射
单面/双面镀铜硅片
膜层参数:Ti30nm/Cu500nm (可定制) 衬底类型:硅片/玻璃片/石英片/蓝宝石片 衬底规格:2/4/6/8/12寸 (尺寸规格厚度可定制) 膜层粗糙度:Ra≤lnm 膜层纯度:≥99.999% 镀膜工艺:电子束蒸发/磁控溅射
单面/双面镀铝硅片
膜层参数:Ti30nm/A1 100nm;A1 100nm (可定制) 衬底类型:硅片/玻璃片/石英片/蓝宝石片 衬底厚度:2/4/6/8/12寸(尺寸规格厚度可定制) 膜层粗糙度:Ra≤lnm 膜层纯度:≥99.999% 镀膜工艺:电子束蒸发/磁控溅射
联系人: 喻女士
咨询热线:15539701757(微信同号)
邮箱: memsweina@163.com
地址: 河南省洛阳市西工区智能科技产业园6号楼
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