真空镀膜机
本司拥有电子束及阻蒸蒸发加工设备,能对Ti、Cr、Al、Ni、Ag、Au、Pt、Cu等金属进行薄膜制备,最大可制备12英寸晶圆。设备均为进口先进设备,膜厚仪精准,膜层均匀性高,膜层致密,成膜效果好。
磁控溅射台
本司拥有多台多样式磁控溅射台,可实现自转镀膜、自公转镀膜、连续镀膜、正放置镀膜及倒放置镀膜等多种镀膜方式。靶类齐全能实现Ti、AL、Ni、Au、Ag、Cr、Pt、Cu、TiW、Pd、Pt、Zn、Mo、W、Ta、Si、Sic、NiCr20等20余种金属、非金属及合金薄膜,TaN、TiN等复合材料镀膜加工。最大可制备12英寸晶圆。
光学镀膜机
本司拥有一批成熟光学工程师及大量光学仿真数据,可实现光学增透膜、高反膜ITO、截止膜、滤光片等光学薄膜蒸镀。膜层光学性能好,数据调整迅速准确。可定制多波段多类型光学膜,衬底多样齐全。
镀膜材料及支持的设备
本司有各类电子束真空镀膜,磁控溅射台,连续镀等PVD镀膜工艺,支持12英寸以内晶圆或大规格非标衬底。
联系人: 喻女士
咨询热线:15539701757(微信同号)
邮箱: memsweina@163.com
地址: 河南省洛阳市西工区智能科技产业园6号楼
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