真空镀膜系统
真空镀膜系统 光刻系统 干法刻蚀 沉积 划片加工/DWP计算器 加工产品
真空镀膜机

真空镀膜机

本司拥有电子束及阻蒸蒸发加工设备,能对Ti、Cr、Al、Ni、Ag、Au、Pt、Cu等金属进行薄膜制备,最大可制备12英寸晶圆。设备均为进口先进设备,膜厚仪精准,膜层均匀性高,膜层致密,成膜效果好。

磁控溅射台

磁控溅射台

本司拥有多台多样式磁控溅射台,可实现自转镀膜、自公转镀膜、连续镀膜、正放置镀膜及倒放置镀膜等多种镀膜方式。靶类齐全能实现Ti、AL、Ni、Au、Ag、Cr、Pt、Cu、TiW、Pd、Pt、Zn、Mo、W、Ta、Si、Sic、NiCr20等20余种金属、非金属及合金薄膜,TaN、TiN等复合材料镀膜加工。最大可制备12英寸晶圆。

光学镀膜机

光学镀膜机

本司拥有一批成熟光学工程师及大量光学仿真数据,可实现光学增透膜、高反膜ITO、截止膜、滤光片等光学薄膜蒸镀。膜层光学性能好,数据调整迅速准确。可定制多波段多类型光学膜,衬底多样齐全。

镀膜材料及支持的设备

镀膜材料及支持的设备

本司有各类电子束真空镀膜,磁控溅射台,连续镀等PVD镀膜工艺,支持12英寸以内晶圆或大规格非标衬底。

河南微纳半导体有限责任公司

联系人: 喻女士

咨询热线:15539701757(微信同号)

邮箱: memsweina@163.com

地址: 河南省洛阳市西工区智能科技产业园6号楼

微信二维码

微信二维码

淘宝店铺

淘宝店铺

京东店铺

京东店铺

版权所有:2024 © 河南微纳半导体有限责任公司 豫ICP备2024065003号-1 豫公网安备41030302000802号 技术支持:尚贤科技 网站XML

首页

电话

联系

置顶