真空镀膜系统
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镀膜材料及支持的设备
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本司有各类电子束真空镀膜,磁控溅射台,连续镀等PVD镀膜工艺,支持12英寸以内晶圆或大规格非标衬底。

服务电话: 15539701757
产品详情

本司有各类电子束真空镀膜,磁控溅射台,连续镀等PVD镀膜工艺,支持12英寸以内晶圆或大规格非标衬底。

膜层类别

名称

镀膜方式

备注

金属

 

电子束蒸发

磁控溅射

热阻蒸发

 

Au

 

Ag

 

Al

×

 

Cr

×

 

Cu

 

Ti

×

×

 

Ni

×

×

 

W

×

×

 

Pt

×

 

Sn

×

×

 

Mo

×

×

 

Zr

×

×

 

ln

×

 

非金属

C

×

×

 

合金

AlTi

×

×

 

NiCr

×

×

97:3

NiSi

×

×

90:10

NiCu

×

×

55:45

SiAl

×

×

 

ALMgSi

×

×

 

TiW

×

×

 

TiOx

×

×

 

Y2O2

×

×

 

AuSn

×

×

 

AgSn

×

×

 

MoS2

×

×

 

WC

×

×

 

陶瓷

AZO

×

×

 

TiN

×

 

Zns

×

×

 

NTO

×

×

 

MoO

×

×

 

SiO2

×

×

 

Al2O3

×

×

 

Nb2O5

×

×

 

Nb2O5Cr

×

×

 

Nb2O5Al

×

×

 

ATO

×

×


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联系人: 喻女士

咨询热线:15539701757(微信同号)

邮箱: memsweina@163.com

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