本司拥有SUSS MA6接触式光刻机，主要针对6英寸及6英寸以下晶圆加工。拥有硬接触，软接触，真空接触等多种光刻模式。拥有G/I线双线加工能力。能实现双面对准与键合对准。
用途:宽带光源365-420；紫外接近;接触式光刻；可实现双面对准与键合对准。
技术指标:
分辨率:大于或等于1um；
对准精度:大于士1um；
光刻胶类型:
1、AZ5214(厚度1.6~2.5um，可反转)；
2、AZ1500(1.2~2.0um，正胶)；
3、AZ4620(度厚6~15um)；
4、AZ6130(厚度3~6um)。
联系人: 喻女士
咨询热线：15539701757（微信同号）
邮箱: memsweina@163.com
地址: 河南省洛阳市西工区智能科技产业园6号楼
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