光刻胶/显影液
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FUTURREX系列产品
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在抗蚀剂显影过程中形成抗蚀剂底切

厚度范国:0.7-25.0μm

根据曝光能量轻松调整抗蚀剂底切程度

对小于380nm的波长的灵敏度

服务电话: 15539701757
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FUTURREX系列产品
耐高温 增强附着力
厚度 厚度
NR77-1000PY 0.7μm-2,1μm NR9-1000PY 0.7μm-2.1um
NR77-1500PY 1.1μm-3.1um NR9-1500PY 1.1μm-3.1μm
NR77-3000PY 2.1μm-6.3um NR9-3000PY 2.1μm·6,3μm
NR77-6000PY 5.0μm-12.2μm NR9-6000PY 5.0μm-12.2um
耐温性=180°C, NR9-8000 6.0um-25.0um
NR-PY型负性抗浊剂的跟光剂量很容易控制底切程度。
在加工温度<120°C时,NR1和NR7系列抗蚀剂可在25°C下剥离。
耐温性=100°C,
NR9系列抗蚀剂提供增强的附着力,
并且在25°C时易于剥斋.
应用

  • 促进单层剥离工艺在没有RIE的情况下对金属和电介质进行图案化
  • 设备的永久组件(即垫片等)
特性
  • 在抗蚀剂显影过程中形成抗蚀剂底切
  • 厚度范国:0.7-25.0μm
  • 根据曝光能量轻松调整抗蚀剂底切程度
  • 对小于380nm的波长的灵敏度
对生产力的影响
  • 消除对金属和电介质进行图贵化的干法蚀刻工艺
  • 无需双层抗蚀剂


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联系人: 喻女士

咨询热线:15539701757(微信同号)

邮箱: memsweina@163.com

地址: 河南省洛阳市西工区智能科技产业园6号楼

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