掺杂类型:N,P
直径2~8英寸
阻值:几十Ωcm-20kΩcm及以上
Fz硅片是指通过区熔法制作的硅片,将硅棒从籽晶一端区域熔化,将熔化区逐渐移动至硅棒另一端,利用杂质的分凝原理和蒸发特性,可以对硅棒进行提纯,并得到很均匀的杂质分布,这种技术通常用于制造高纯度的本征硅片。
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