CZ、FZ硅片(国产/进口)
掺杂类型:N,P 晶向:<100>,<110>,<111> 直径:2~12英寸 电阻率:常用各种范围均提供,0.001~10k欧姆.厘米 TTV、平整度、弯曲度、翘曲度、直径工差、厚度工差、晶向偏离度等参数严格 按照Semi标准执行,如有特殊要求,请来电咨询。
测试片
直径:2~12英寸 测试片是半导体产业中进行设备性能测试、工艺测试所使用的实验片,用来考察各个设备和各段工艺的状态和稳定性。该类片可作为陪片使用,或者作为对电学性能没有要求的正片使用,比如某些MEMS领域或某些材料、物理领域。
Dummy片
直径:2~12英寸 只能做有限的工艺测试。一般作为自动化机器传输测试使用:以及对衬底属性和电学性能没有要求的工艺中使用。比如镀膜测试实验。
FZ硅片(进口)
掺杂类型:N,P 直径2~8英寸 阻值:几十Ωcm-20kΩcm及以上 Fz硅片是指通过区熔法制作的硅片,将硅棒从籽晶一端区域熔化,将熔化区逐渐移动至硅棒另一端,利用杂质的分凝原理和蒸发特性,可以对硅棒进行提纯,并得到很均匀的杂质分布,这种技术通常用于制造高纯度的本征硅片。
氧化硅片(国产/进口)
直径1~12英寸 氧化层厚度:100A~20um 氧化硅片是指在硅片表面存在一层氧化层,氧化层的厚度根据用户需求而定。一般都有库存。 根据产品工艺要求可提供干湿干氧和纯干氧不同工艺氧化片。
锗片
直径2~8英寸 主要应用与红外窗口和半导体器件的制造。
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